平面研磨機新的研發

發布者： 常州玉利光電 / 2021-05-07/ 瀏覽量：113

　　隨之微電子、光電子、激光技術的飛快發展，工業上對材質表面的加工要求越來越高，越來越精密。那么只有不斷在研發的道路上前進，才能緊緊跟住社會的腳步，但要求的是，研發的技術要能在其中起到必然的作用。研磨在其中起到的作用是的也是相對的，它在精密、超精密加工中的技術，在很多材料上都比較合適。而且在加工精度上差不多能夠達到加工精度的極限，而且在操作上相對于其他機械而言比較簡單。

　　超精密研磨加工技術，以不改變工件材料的物理特性為前提，是為了獲得更好的表面完整性、工件精度與平面度。研磨通常作為拋光加工的前道工序，是為了提高工件的表面精度并在一定程度上降低表面粗糙度，拋光是進一步完善工件的表面精度。研磨是利用磨具通過磨料作用于工件表面，進行微量加工的過程。研磨工件表面的尺寸精度、形位精度、研磨工具的壽命及研磨效率等，在很大程度上取決于研磨運動。為使工件表面研磨均勻，從運動學角度歸納出如下的平面研磨更佳運動學條件：

　　一·工件相對研具作平面運動，應保證工件被研磨表面上各點相對研具均有相同或相近的研磨軌跡;

　　二·研磨運動是由工件與研具之間的相對運動實現的，工件表面上各點的研磨運動速度應盡可能相同;

　　三·研磨運動方向應不斷變化，研磨紋路交錯多變，以利于工件加工表面粗糙度的降低，但應盡量避免工件被研磨表面上各點相對研具的研磨軌跡曲率變化過大;

　　四·研具或拋光盤工作表面的形狀精度會反映到工件表面上，所以工件的運動軌跡應遍及整個研具表面并且分布均勻，以利于研具的均勻磨損;

　　五·工件相對研具在被研磨材料的去除方向上具有運動自由度，這樣可以避免因研磨機械的導向精度不高而引起誤差。

　　研磨軌跡的均勻性的提高有利于工件平面度的改善，但均勻的研磨軌跡并不足以保證工件被加工表面均勻的材料去除，原因是，同一軌跡上的各點可能有不同的磨粒。結合現有平面研磨機，根據研磨更佳運動學條件，創造性的研制了新型行星輪式恒速率變向平面研磨機。利用研磨機，通過大量研磨實驗，探索出了研磨效率高、表面質量好的研磨方案，取得了很好的研磨效果。